“这是我们自主研发的MFC330系列气体质量流量计/控制器，可以用于半导体、光伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、高精度分析仪器、石化、制气、医疗、食品、工业自动化控制等行业。”11月26日，苏州爱拓利电子设备有限公司（以下简称“爱拓利”）总经理杨兆宝拿着手中的流量计介绍。当日，他带着“半导体级气体质量流量计的研发及产业化”项目正式入驻吴江开发区半导体智能制造创新港。

此次开业的爱拓利工厂一期面积达1000平方米，内部配备十万级和千级洁净车间、专业研发团队和完善的服务平台。“我们怀揣着对未来的美好憧憬和坚定信念，来到吴江开发区再创业，希望为吴江乃至全国的半导体核心配件国产替代进程注入强劲新动力。”杨兆宝说。

为打破国内气体质量流量计核心部件依赖国外进口局面，杨兆宝自2019年开始了气体质量流量计核心部件（质量流量传感器、微型气体比例阀）的全面国产化研发工作。作为国内极少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企业，其产品的核心部件毛细管柱式传感器和高精度微型气体比例阀全面国产、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能赶超进口同类产品。

“这项技术我们用了将近5年时间进行突破，我觉得是一件特别骄傲的事情，我们必须要创新，要制造出我们国家自己的东西。”杨兆宝介绍，企业计划于2025年3月完成搭载了全国产化的层流差压式气体质量流量传感器和压电式全金属密封比例阀的高性能气体质量流量计的研发工作，并开始进行测试，预计将于2025年6月进入小批量试产和市场推广。

爱拓利的愿景是成为一家在流体测控领域具有卓越影响力的创新型企业。“我们专注于拥有完全自主知识产权、全面国产化的核心零部件的开发，以期打破进口产品的技术垄断，彻底摆脱对进口品牌的依赖，大力提升高端制程和高端科研中国产化替代水平和应用规模，早日打造出全面国产化的高端可靠的流体测控产品，解决我国基础科学及高端制程领域所面临的‘卡脖子’困境。”杨兆宝坦言。

（以上为效果示意图，以实际建筑为准）

近年来，吴江开发区以培育半导体智能装备产业为目标，打造半导体智能装备产业集群，自今年5月起，半导体智能制造创新港内已陆续进驻12家企业。爱拓利依托“人才+科技+基金”项目落地，乘着半导体产业迅猛发展的“东风”，将在开发区大展拳脚。

“我觉得用‘Family’这个英文单词来形容吴江开发区的亲和力最为贴切。吴江开发区给了我们企业‘合适的土壤、养分和阳光’，帮助企业茁壮成长。未来，爱拓利将组建一支具有创新精神和专业能力的核心团队，包括研发、技术、营销、运营等方面的人才。同时，重视不同背景的成员的不同视角和思维方式，助力团队在产品创新和市场开拓中应对各种挑战。”杨兆宝说。