产品简介：

型号：MFC501应用领域：——分析仪器 
        ——干刻（RIE/DRIE)——生物技术 
        ——气象色谱分析——激光焊机

产品特征：

高精度，高稳定性，快响应，小体积。

产品简介：

型号：MFC501

应用领域：

——分析仪器                             ——干刻（RIE/DRIE)

——生物技术                             ——气象色谱分析

——激光焊机                             ——过程自动化

——真空镀膜                             ——燃料电池

产品特性：

◆无可移动部件

◆支持多种通讯协议

◆容易安装及维护

◆高精度、高稳定性、非常低的零漂

◆可控多种气体

◆可配控制器

◆产品低功耗

      机械尺寸：

技术指标：

      流量规格：0~20,30,50,100,150,200,275SLM

准 确 度：±1.5％F.S.

线 性 度：＜±1％F.S.

重复精度：±0.2％F.S.

响应时间：＜1S

工作压差：0~0.8MPa

耐压：3MPa

环境温度：5-55℃

电气连接：Db15

输出信号：0~5V、4~20mA

电      源：±15V或者15~28V

流量调节范围：2~100F.S

漏      率：＜1*10-7Pa*m3/s

温度系数：＜0.1%F.S/℃

外形尺寸：106*36*138

重      量：2.0Kg

电气连接：DB15