无锡爱拓利电子科技有限公司带您具体介绍气体流量控制器的工作原理和用处特色
气体流量控制器, 不光具有气体流量计的功能,更重要的是,它能自动操控气体流量,即用户可根据需求进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即便体系压力有动摇或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,气体流量控制器就是一个稳流设备, 是一个能够手动设定或与计算机联接自动操控的气体稳流设备。
气体流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调理阀门和扩大操控器等部分组成。气体流量传感器选用毛细管传热温差量热法原理丈量气体的气体流量。将传感器加热电桥测得的流量信号送入扩大器扩大, 扩大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号扩大后去操控调理阀门,闭环操控流过通道的流量使之与设定的流量持平。分流器决定主通道的流量。与气体流量控制器配套的流量显现仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转化和三位阀控开关等。
用 途
气体流量控制器用于对气体的气体流量进行精细丈量和操控。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如分散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反响设备、混气配气体系、毛细管丈量、气相色谱仪及其他各种类型的分析仪器。
特 点
气体流量控制器具有精度高、重复性好、呼应速度快、软启动、稳定牢靠、工作压力规模宽(能够运用在高压及真空体系)等特色。操作运用方便,对装置位置不灵敏可任意位置装置。配合流量显现仪或气体流量控制器显现仪对气体的瞬时流量和累积流量进行准确丈量和操控运用,也可直接同计算机连接,十分方便的实现自动操控。
5. 气体流量控制器的首要优点是什么?
(1) 流量的丈量和操控不因温度或压力的动摇而失准。
(2) 丈量操控的自动化
(3) 准确地定量操控流量
(4) 适用规模宽
上述就是无锡爱拓利电子科技有限公司为您具体介绍的气体流量控制器的工作原理和用处特色的全部内容,如有任何疑问,欢迎随时咨询。
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