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MFC501气体质量流量控制器

类别:气体流量控制器   发布时间:2018-11-02 13:49   浏览:



产品简介:
型号:MFC501应用领域:——分析仪器 
——干刻(RIE/DRIE)——生物技术 
——气象色谱分析——激光焊机
产品特征:

高精度,高稳定性,快响应,小体积。

 


产品简介
 

型号:MFC501

应用领域:

——分析仪器                             ——干刻(RIE/DRIE)

——生物技术                             ——气象色谱分析

——激光焊机                             ——过程自动化

——真空镀膜                             ——燃料电池

产品特性:

无可移动部件

支持多种通讯协议

容易安装及维护

高精度、高稳定性、极低的零漂

可控多种气体

可配控制器

产品低功耗

机械尺寸
MFC501气体质量流量控制器

技术指标

流量规格:0~20,30,50,100,150,200,275SLM

准 确 度:±1.5%F.S.

线 性 度:<±1%F.S.

重复精度:±0.2%F.S.

响应时间:<1S

工作压差:0~0.8MPa

最大耐压:3MPa

环境温度:5-55℃

电气连接:Db15

输出信号:0~5V、4~20mA

电      源:±15V或者15~28V

流量调节范围:2~100%F.S

漏      率:<1*10-7Pa*m3/s

温度系数:<0.1%F.S/℃

外形尺寸:106*36*138

重      量:2.0Kg

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